Аннотация
Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического состава, микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней.
Поступила: 9 октября 2020
Статья подписана в печать: 13 ноября 2020
PACS:
61.10.-i X-ray diffraction and scattering
62.20.-x Mechanical properties of solids
68.60.-p Physical properties of thin films, nonelectronic
78.30.-j Infrared and Raman spectra
62.20.-x Mechanical properties of solids
68.60.-p Physical properties of thin films, nonelectronic
78.30.-j Infrared and Raman spectra
English citation: Structure, phase composition and functional characteristics of titanium-based coatings obtained via reactive magnetron sputtering
V. M. Avdyukhina, M. M. Khrushchov, I. S. Levin, E. V. Kashurkin, D. A. Suliandziga
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В. М. Авдюхина$^1$, М. М. Хрущов$^2$, И. С. Левин$^3$, Е. В. Кашуркин$^4$, Д. А. Суляндзига$^5$
$^1$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела\
$^2$Институт машиноведения имени А.А. Благонравова РАН\
$^3$Институт машиноведения имени А.А. Благонравова РАН\
$^4$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела\
$^5$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела
$^1$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела\
$^2$Институт машиноведения имени А.А. Благонравова РАН\
$^3$Институт машиноведения имени А.А. Благонравова РАН\
$^4$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела\
$^5$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.