Разработка нанобиосенсоров на основе акустоэлектронных технологий

В. В. Колесов$^1$, И. Е. Кузнецова$^1$, Е. С. Солдатов$^2$, С. А. Дагесян$^2$, А. Е. Мельников$^2$, В. И. Анисимкин$^1$, В. В. Кашин$^1$

Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2017. № 5. 1750404

Статья

Аннотация

Использование методов акустоэлектроники и интеграция нанобиосенсоров с акустическими линиями задержки в рамках планарных технологий дают возможность создания акустобионаноэлектронных датчиков с повышенной чувствительностью и селективностью. В работе разработан акустоэлектрический чип-сенсор на основе монокристаллической пластины ниобата лития толщиной 0.35 мм с системой встречно-штыревых преобразователей (ВШП) для возбуждения соответствующей акустической волны, который вставляется в чип-холдер со стандартным разъемом ножевого типа. Для создания планарной наноструктуры наноэлектронного трансдьюсера использовалась технология стандартной фотолитографии, различных фоторезистов и реактивного ионного травления и магнетронного напыления. Область размером 80х80 микрон в центре чипа служила для формирования электронной наноструктуры, которая является прообразом наноэлектронного трансдьюсера. В полученных наноструктурах могут быть сформированы нанозазоры для иммобилизации молекул белков-ферментов и создании селективных молекулярных биосенсоров.

Поступила: 29 июня 2017

Статья подписана в печать: 17 октября 2017

PACS:

87.85.fk Biosensors
43.58.+z Acoustical measurements and instrumentation

English citation: Development of nanobiosensors based on acoustoelectronic technology

V. V. Kolesov, I. E. Kuznetsova, E. S. Soldatov, S. A. Dagesyan, A. E. Melnikov, V. I. Anisimkin, V. V. Kashin

Авторы

В. В. Колесов$^1$, И. Е. Кузнецова$^1$, Е. С. Солдатов$^2$, С. А. Дагесян$^2$, А. Е. Мельников$^2$, В. И. Анисимкин$^1$, В. В. Кашин$^1$
$^1$Институт радиотехники и электроники имени В. А.Котельникова РАН (ИРЭ РАН)\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет.

Выпуск 5, 2017

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.