Влияние особенностей структуры вакуумных алмазоподобных покрытий, легированных металлами VIа группы, на их свойства

Представлены результаты комплексного исследования структуры, фазового и химического состава, а также трибологических свойств гидрогенизированных углеродных покрытий, легированных металлами VIa группы (хромом, молибденом и вольфрамом). Покрытия, легированные хромом, наносились методом реактивного магнетронного распыления в смесях реактивных газов с различными концентрациями ацетилена и азота. Покрытие, легированные вольфрамом, было нанесено методом нереактивного магнетронного распыления. Покрытие, легированное молибденом, наносилось методом плазмохимического осаждения из паровой фазы. Было обнаружено, что тип легирующей металлической добавки оказывает существенное влияние не только на химический и фазовый состав алмазоподобных покрытий, но и на такие их свойства, как коэффициент трения и поведение при высоких контактных давлениях. Нанокомпозитные покрытия, легированные хромом, содержавшие значительную концентрацию атомов азота, обладали наиболее оптимальной комбинацией трибологических свойств.