Аннотация
Основной характеристикой МЭМС-переключателя является отношение емкостей в замкнутом и разомкнутом состоянии. В стандартных изделиях это отношение обычно не превышает 10 и может быть увеличено в несколько раз за счет использования электрода с плавающим потенциалом. В работе исследуется зависимость емкостных характеристик, изоляции и вносимых потерь ключа с «плавающим» электродом в зависимости от материала подложки.
Поступила: 3 июня 2024
Статья подписана в печать: 16 августа 2024
PACS:
85.85.+j Micro- and nano-electromechanical systems
English citation: Combined resistive-capacitive MEMS-switch for advanced communication systems
M. O. Morozov, I. V. Uvarov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
М. О. Морозов$^{1,2}$, И. В. Уваров$^2$
$^1$undefined\
$^2$Ярославский Филиал Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
$^1$undefined\
$^2$Ярославский Филиал Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.