Применение CCD и КМОП устройств в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн

Терагерцовый (ТГц) диапазон частот в спектре электромагнитного излучения занимает промежуточное положение между инфракрасным и микроволновым диапазонами, а излучение в его пределах обладает свойствами обоих, т.е. имеет низкую расходимость и способно проникать сквозь неметаллические материалы. К настоящему времени существующие приемники ТГц излучения являются инертными, имеют невысокое пространственное разрешение и высокую стоимость, что ставит вопрос о поиске подходящих доступных аналогов. Решением может стать использование матричных фотоприемных устройств на основе структур с зарядовой связью (ПЗС) и структур металл-оксид-полупроводник (КМОП), работающих в режиме туннелирования фотоэлектронов в зону проводимости за счет внешнего лазерного источника. В работе рассмотрены особенности регистрации модулированного электромагнитного излучения в расширенном миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн с помощью ПЗС и КМОП матриц.