Структурно-фазовые и функциональные характеристики титановых покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением

Представлены результаты комплексного исследование влияния фазового состава и особенностей микроструктуры на механические и трибологические свойства титановых покрытий, полученных методом реактивного магнетронного распыления в атмосфере ацетилена и азота. Установлено, что все изученные покрытия содержат аморфный углерод, а в их фазовом составе представлены различных типы стехиометрических и нестехиометрических карбидных, нитридных и оксидных фаз титана. Полученные покрытия имеют низкий коэффициент трения и сохраняют свою работоспособность при контактных давлениях до 450 МПа в продолжение всего цикла испытаний на фрикционную усталость (база испытаний – 6000 циклов). Ключевые слова: упрочняющие покрытия, реактивное магнетронное распыление, рентгендифракционное определение структуры и фазового состава, спектроскопия комбинационного рассеяния, «свободный» углерод, механические свойства, трибологическое поведение.