Аннотация
Исследуются оптические коэффициенты пленок меди и золота с толщинами от 0.5 нм до 10 нм на частоте 10 ГГц. В схеме измерений используется векторный анализатор цепей R&S ZVA 24 и волноводный резонатор. Показано, что экспериментальные результаты для коэффициента пропускания пленок меди соответствуют расчетным значениям при введении эквивалентной толщины, уменьшенной на 3 нм. Измеренное значение проводимости пленки меди почти на порядок меньше проводимости объемной меди.
PACS:
73.61.-r Electrical properties of specific thin films
English citation: Studying the optical coefficients of nanometer–thick copper and gold films at microwave frequencies
S.M. Pronin, V.A. Vdovin, V.G. Andreev
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
С.М. Пронин$^1$, В.А. Вдовин$^2$, В.Г. Андреев$^3$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра фотоники и физики микроволн Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт Радиотехники и Электроники имени В.А.Котельникова РАН Россия, 125009, Москва, ул. Моховая, д. 11, стр. 7
$^3$Московский государственный университет имени М. В.Ломоносова, физический факультет, кафедра акустики Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра фотоники и физики микроволн Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт Радиотехники и Электроники имени В.А.Котельникова РАН Россия, 125009, Москва, ул. Моховая, д. 11, стр. 7
$^3$Московский государственный университет имени М. В.Ломоносова, физический факультет, кафедра акустики Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2