Аннотация
Разработана технология получения нанотемплетов «SiO2 – слой инициации Al2O3 – III-нитрид» на подложках кремния для неполярных гетероструктур III-нитридов методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений в процессе формирования GaN/InGaN квантовых ям, обеспечивающая формирование массивов GaN-InGaN наноточек и наноколец на GaN наностержнях. При этом обеспечивается низкая плотность дислокаций, ~3×106 см-2 , увеличение интенсивности фотолюминесценции на порядок по сравнению с плоскими образцами и возможность получения большей концентрации индия в твердом растворе InGaN
Поступила: 24 сентября 2013
Статья подписана в печать: 17 июня 2014
PACS:
78.67.De Quantum wells
61.46.Df Structure of nanocrystals and nanoparticles
61.46.Df Structure of nanocrystals and nanoparticles
English citation: Si/SiO2/III-nitride nanotemplаtes
Osinsky V.I., Lyahova N.N.
Hlotov1 V.I.
Suhovyy N.O.
Lytvyn O.S.
Deminskyi P.V.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Ляхова Н.Н., Осинский В.И., Глотов В.И., Суховий Н.О., Литвин О.С., Деминский П.В.
Институт Микроприборов НАН Украины, Северо-Сырецкая 3, 04136, г. Киев
Институт Микроприборов НАН Украины, Северо-Сырецкая 3, 04136, г. Киев