Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ

Влияние реактивной атмосферы при магнетронном напылении на эволюцию фазового состава алмазоподобных покрытий, легированных хромом

И. С. Левин$^{1,2}$, В. М. Авдюхина$^1$, М. М. Хрущов$^2$, В. А. Шергунов$^2$

Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2017. № 4. 1741002

  • Статья
Аннотация

В работе исследовались образцы алмазоподобных углеродных покрытий, легированных хромом, полученные с помощью технологии магнетронного распыления в активных газовых средах. Изучалось влияние особенностей нанесения покрытий (в первую очередь, состава атмосферы напыления) на их фазовый состав и тонкую атомную структуру. В качестве основного метода исследования использовалась рентгеновская дифрактометрия.

Поступила: 14 июня 2017
Статья подписана в печать: 25 июля 2017
PACS:
61.10.Nz X-ray diffraction
68.55.Nq Composition and phase identification
81.05.uj Diamond/nanocarbon composites
English citation:
I. S. Levin, V. M. Avdyukhina, M. M. Khrushchov, V. A. Schergunov.
Influence of the reactive atmosphere during magnetron sputtering on evolution of the phase composition of diamond-like coatings doped with chromium.
Memoirs of the Faculty of Physics 2017. N 4.
Авторы
И. С. Левин$^{1,2}$, В. М. Авдюхина$^1$, М. М. Хрущов$^2$, В. А. Шергунов$^2$
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет, кафедра физики твердого тела, кафедра физики твердого тела.
$^2$Институт машиноведения имени А.А. Благонравова РАН
Выпуск 4, 2017

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.