Аннотация
Описан экспериментальный прототип ближнеполевого микроскопа на базе коаксиального СВЧ резонатора и векторного анализатора цепей R&S ZVA 24. Приведены результаты тестовых измерений сдвига резонансной частоты и добротности резонансной кривой с использованием объемных проводников, изготовленных из металлов с различной проводимостью. Показа-но качественно, что резонансная частота и добротность уменьшаются при приближении зонда к поверхности проводника. Значение добротности минимально при использовании проводника с наименьшей проводимостью.
PACS:
73.61.-r Electrical properties of specific thin films
English citation: Nearfield microwave microscope for measuring the conductivity of thin metallic films
V.I. Frolov, V.A. Vdovin, V.G. Andreev
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В.И. Фролов$^1$, В.А. Вдовин$^2$, В.Г. Андреев$^3$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра фотоники и физики микроволн Россия,119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт Радиотехники и Электроники имени В.А.Котельникова РАН Россия, 125009, Москва, ул. Моховая, д. 11, стр. 7
$^3$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра акустики Россия,119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра фотоники и физики микроволн Россия,119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^2$Институт Радиотехники и Электроники имени В.А.Котельникова РАН Россия, 125009, Москва, ул. Моховая, д. 11, стр. 7
$^3$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра акустики Россия,119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2