МЭМС-переключатели имеют широкий потенциал применения в перспективных системах связи, однако их внедрению препятствует ряд особенностей. Отношение емкостей в разомкнутом и замкнутом состоянии обычно составляет несколько единиц и не обеспечивает требуемых характеристик. Отношение емкостей может быть многократно увеличено за счет использования дополнительного электрода, нанесенного поверх диэлектрического слоя. В данной работе проводится расчет емкостных и радиочастотных характеристик переключателя с дополнительным электродом.
$^1$Ярославский государтвенный университет имени П.Г. Демидова\
$^2$ЦНИТ – Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт»
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.