Предложена самосогласованная 0-мерная модель плазмы смеси $Cl_2/Ar$ в условиях, типичных для плазмохимического травления поликремниевого затвора. Модель основана на совместном решении уравнений химической кинетики, квазинейтральности плазмы и баланса мощности для условий стационарной плазмы. Решение проводилось методом итераций. В рамках модели учитывались 3 вида нейтральных частиц (Cl2, Ar, радикал Cl) и 4 вида ионов (Cl+, Cl2+, Ar+, Cl-). В качестве входных параметров использовались начальный состав смеси, вкладываемая мощность и давление газа. Получены расчётные данные по влиянию начального состава смеси на физические параметры плазмы и концентрации активных частиц. Результаты качественно согласуются с литературными данными.
52.20.Fs Electron collisions
$^1$АО «НИИМЭ»
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.