Об оценке нагрева мишени электронным зондом. Результаты математического моделирования

Методы математического моделирования использованы для оценки нагрева твердотельных мишеней, облучаемых киловольтным электронным зондом. При проведении расчетов использована математическая модель, учитывающая отдельный вклад в потери энергии поглощенных в мишени и обратно рассеянных электронов. Результаты расчетов показали, что для тяжёлых мишеней зависимость перегрева мишени от энергии электронов пучка имеет немонотонный характер: в районе около 3-4 кэВ появлялся локальный минимум, обусловленный существенным вкладом в потери энергии обратно рассеянных электронов. Качественная оценка переноса тепла излучением показала, что для низкоэнергетического электронного зонда при постановке краевых задач оправдано считать поток тела через внешнюю поверхность мишени нулевым.