Моделирование свойств жёсткости наноразмерных структур кремниевой электроники с учётом неровности

Приведенная работа посвящена исследованию наноструктур по части механических свойств. Особое внимание мы уделяем поведению наноструктур при наличии шероховатости. Исследования в данной области идут в трёх направлениях: 1) изучение особенностей проявления шероховатости во время формирования наноструктур 2) разработка методов оценки величины шероховатости (амплитуды, пространственной частоты, фрактальной постоянной с помощью РЭМ, АСМ, исследования спеклов) 3) моделирование механических, температурных свойств, электрофизических свойств элементов кремниевой микроэлектроники на основе данных наноструктур. Данная работа посвящена именно моделированию [1]. При переходе к поперечным размерам наноструктур ниже 100 нм вопрос управления шероховатостью стоит всё острее, так как увеличивается влияние геометрических неравномерностей на электрофизические параметры устройств [2, 3]. Кроме того, при уменьшении соотношения ширины к высоте плавниковых наноструктур начинают всё более заметно проявляться пластические свойства [4, 5]. Мы предполагаем, что в ходе процессов формирования данный размерный эффект может вносить значительный вклад в проявление наноразмерной шероховатости. Первые шаги к оценке этого вклада мы выполняем в данной работе. В результате были получены графические зависимости жесткости плавниковой структуры при разных значениях форм-фактора, а также проведен анализ собственных частот структуры.