Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Механизмы разрушения в гетероструктурах InGaN/GaN под действием сильноточного электронного пучка

В.И. Олешко, С.Г. Горина

Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2015. № 5. 155501

  • Статья
Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований морфологии разрушений и пространственного распределения микрозон свечения по поверхности светодиодных гетероструктур InGaN/GaN различной предыстории после многоимпульсного облучения сильноточным электронным пучком. Показано, что локальные микрозоны свечения, регистрируемые на фоне однородной катодолюминесценции в текстурированных образцах, формируются в результате отражения стимулированного излучения от локальных микроразрушений. Обнаружено, что в эпитаксиальных слоях GaN с высокой плотностью дислокаций ~109 см 2 при многоимпульсном облучении электронным пучком с плотностью энергии H ≈ 0.2 Дж/см2 формируются фигуры Лихтенберга. Интерпретация полученных результатов дана на основе представлений об электроразрядном механизме разрушения диэлектриков и полупроводников под действием сильноточных электронных пучков. Сделано предположение о влиянии стимулированной люминесценции на размножение микроразрушений, в процессе многоимульсного облучения гетероструктур электронным пучком. Визуализация дефектных областей вследствие локализации в этих зонах электрического пробоя может быть положена в основу метода диагностики электрических микронеоднородностей, образующихся в светодиодных гетероструктурах при выращивании.

Поступила: 20 мая 2015
Статья подписана в печать: 22 января 2016
PACS:
70.00.00 CONDENSED MATTER: ELECTRONIC STRUCTURE, ELECTRICAL, MAGNETIC, AND OPTICAL PROPERTIES
Авторы
В.И. Олешко, С.Г. Горина
Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Институт физики высоких технологий, кафедра лазерной и световой техники. Россия, 634050, Томск, пр. Ленина, 30
Выпуск 5, 2015

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.